第五十章 成功
很快，DUV浸润式光刻机的控制台和互联网链接成功。 屏幕上，注册软件自动运行。 “链接未来科技公司服务器成功。” “机器注册中……” “注册成功！” “获得测试授权，授权期限为15天。” 伯灵院士看到屏幕上显示的文字后，脸上压抑不住的激动。 现在，最关键的控制系统已经安装到位，整台DUV浸润式光刻机已经完整，可以开始进行测试。 只要测试合格，种花国第一台DUV浸润式光刻机将要在他手中诞生，将要在海上微电公司诞生。 不管是对他而言，还是对海上微电公司而言，这将是无上的荣耀。 “韩总，可以了吗？如果可以，我想马上开展测试。”伯灵院士无法压制心中的激动。 玻璃隔断外，听到伯灵院士的话，科学院的几个院士身体前倾，眼神羡慕的看向伯灵院士。 “伯灵的运气真好！让他捡到那么大的便宜！主持种花国第一台DUV浸润式光刻机的生产，如果这次成功了，他的名字将会留在教科书上。” 到了院士级别，金钱、地位都不缺，他们想要的是，如同其他科学巨匠一样，将名字留在教科书上，留在历史书上。 “伯灵院士，请等一下……我给你们的设计图中，带有自检模块，刚才安装的控制程序中，也带有自检模块的软件。” “通过软硬件配合。” “可以对工件台的移动精度，定位精度，移动速度进行自检。” “同样的，控制程序带有的自检模块，可以对光源的功率，光源波长的纯度进行自检。” “也可以对镜头的透光率，清洁度，安装位置是否偏移进行检测。” “只要检测通过，就说明光源和工作台是能够正常工作，可以进行芯片加工。”韩阳一脸认真的说道。 伯灵院士听后，直接瞪圆了眼睛，有些不敢置信的说道，“你的意思是，只要通过软件自检，就说明这台DUV浸润式光刻机质量合格，可以来用进行芯片生产？” “不是！”韩阳摇了摇头，然后继续说道，“这台DUV浸润式光刻机的光源、镜头、工作台是按照我的设计图来加工生产的，带有我专门设计的自检模块。” “通过自检，只能说明光源、镜头、工件台没有问题。” “机器的其他是你们自己设计生产的，有没有问题我不清楚。” “对了，伯灵院士，你们设计的部分，带有自检模块吗？如果带有自检模块，我提供API，你们可以把这三样的自检模块整合到机器的整体自检模块中。”韩阳一脸认真的说道。 太先进了！比ASML的机器还要先进！这是伯灵院士的第一反应。 想到自家设计的自检模块，伯灵院士脸上露出苦笑。 他们原来的设计图上也有自检模块，但自检模块的检测能力和韩阳设计的部分，根本就不是一个时代的产物。 只能检测零部件是否损坏，是否通电。 和韩阳设计的自检系统相比，非常落后。 看着韩阳那认真的眼神，伯灵院士苦笑着说，“韩总，我们的自检模块做不到这种程度。” “需要进行质量检测。” 然后，他眼神炙热的看向韩阳，“韩总，我记得你说过，要提供全套技术给我们。” “等第一台机器试验通过后，请你将自检模块的设计提供给我们，好吗？” “没问题！但需要一些时间。”韩阳点了点头，开始给伯灵院士演示自检模块的使用方法。 “开始进行光源、工作台、镜头自检……” “自检中……” “光源自检完成，光源稳定输出功率300瓦，光波193纳米，设备正常。” “工作台运行正常，运行精度2纳米。” “镜头工作正常，透光率，清洁度，安装位置达到生产要求。” “自检完成，核心组件运行正常。” 在韩阳运行自检程序的时候，所有人都紧张的盯着大屏幕看，看到自检系统提示，核心组件运行正常的时候，所有人都松了一口气。 然后，所有人都看向了伯灵院士。 “测试组，安装硅片！” “安装测试掩膜！” 在测试组的紧张工作下，所有准备工作完成。 伯灵院士又仔仔细细检查了一番机器的状态，最终对韩阳说，“韩阳，你来和我一起按下这个生产按钮！” “好！”韩阳没有推迟，他大步来到伯灵院士身边，然后和紧张得浑身冒汗的伯灵院士，一起按下了红色的启动按钮。 顿时，一块硅片被传送装置送到中间的工件台上。 工件台将硅片位置固定后，工件台快速而又精准的移动到镜头的下方。 蓝紫色的光芒从镜头中照射而出，照射到硅片上。 每一次蓝紫色的光芒闪过，工件台就以极快的速度移动，速度极快，如同幻影一般。 很快，第一批加工好的硅片从机器的左边被传送出来，然后被机械手臂传送到下一台机器中进行显影，清洗，烘干等cao作。 最终，经过一系列处理的硅片，被送到纳米级光学显微镜下观察。 显微镜观察到的画面，同步投影到大屏幕上。 科学院的几个专家全神贯注的看向大屏幕，足足看了十多分钟，科学院光电所的吴起院士声音中带着喜悦开口。 “光刻位置定位准确！” “图形套刻准确，边缘整齐！界线清晰！” “芯片图案清晰，无光晕，无皱褶，无重叠现象！” “从光刻的角度来看，这块硅片的光刻完成得非常优秀。” “ASML的光刻机制造的硅片，也只是这个水平。” “当然，最终的结果要等这些硅片切割制作成为CPU后，测试cpu中的电路情况来定。” “但我初步判断，这台DUV浸润式光刻机已经成功了！” 随着吴起院士的这句话，全场爆发出无比激动的掌声，所有人都在鼓掌，在欢呼。 “我们终于做到了！” “我们再也不用仰仗别人的鼻息！” “等我们的DUV浸润式光刻机量产，就是我们反攻的时候，不卖给我们，我们要让他们的光刻机烂在仓库中。” “芯片问题，最关键的生产问题，终于被我们解决了。”所有人都很激动。 种花国在芯片产业上最大的问题，就是生产问题，只要解决了这個问题，就能迎来巨大的腾飞和发展。 李侍郎接过话筒，他的声音中也带着无法抑制的激动，“祝贺你，伯灵院士！祝贺你们，海上微电公司！你们开创了一个新的时代。” “这次研制DUV浸润式光刻机成功，最核心、贡献最大，最关键的人是韩阳！” “在这里，我由衷的感谢你的帮助！”李侍郎停顿了一下，当着众人的面，向韩阳鞠了一个躬。 其他人见状，也一脸认真的向韩阳鞠躬。 所有人都知道，没有韩阳提供的关键部件设计图，DUV浸润式光刻机根本就不可能搞出来。 “如果没有伱的帮助，没有你提供的技术支撑，我们或许还需要5年的时间，才能将国产DUV浸润式光刻机研制出来。” “你是DUV浸润式光刻机国产化的最大功臣！” “你的名字，会被写入国家光刻机的发展史！你的贡献会被所有人铭记！”李侍郎无比郑重的承诺。 科学院的院士们，听到李侍郎的话后，眼神中全是羡慕，名字写入教科书，是他们的梦想。